Sensor unit

センサ装置

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor unit capable of reducing the dispersion of the change in the electrical resistance value in each magnetoresistance element, while maintaining stress balance. <P>SOLUTION: The magnetoresistance elements 31-38 are formed on a substrate 10 to constitute two bridge circuits via an insulating film 20. The magnetoresistance elements 31-38 are arranged, to bring each thereof into point symmetry around the center point CP as the center. The first to third bonding pads P1-P3 (opening parts H1-H3), connected to the respective magneto-resistance elements 31-38, are formed line-symmetrically by using the lateral direction and vertical direction center lines C1, C2 and diagonal lines C3, C4 (all the center lines) as a symmetry axis. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
【課題】応力バランスを維持しつつ、各磁気抵抗素子における電気抵抗値の変化のばらつきを低減することのできるセンサ装置を提供すること。 【解決手段】基板10上に、絶縁膜20を介して磁気抵抗素子31〜38を2つのブリッジ回路を構成するかたちで形成した。この磁気抵抗素子31〜38を、さらにその各々が中心点CPを中心にして点対称になるかたちで配置する。各磁気抵抗素子31〜38に接続される第1〜第3ボンディングパッドP1〜P3(開口部H1〜H3)を、左右方向及び上下方向の中心線C1,C2及び対角線C3,C4(全ての中心線)を対称軸として線対称に形成した。 【選択図】図1

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